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GAA器件工藝PDK與標(biāo)準(zhǔn)單元庫(kù)
 研究?jī)?nèi)容：
       研究納米尺度的FinFET、GAA等先進(jìn)器件的版圖依賴(lài)效應(yīng)LDE、寄生效應(yīng)、尺寸漲落等物理效應(yīng)研究，構(gòu)建工藝融合器件模型、PDK和標(biāo)準(zhǔn)單元庫(kù)，集成電路設(shè)計(jì)參考流程等設(shè)計(jì)與制造協(xié)同優(yōu)化技術(shù)方案。