近日，微電子所新技術(shù)開(kāi)發(fā)部物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)研發(fā)實(shí)驗(yàn)室的毛海央團(tuán)隊(duì)和集成電路先導(dǎo)工藝研發(fā)中心的周娜老師合作在納米森林的MEMS傳感器集成應(yīng)用研究方面取得重要進(jìn)展。 呼吸是支持人類(lèi)生命活動(dòng)中的重要過(guò)程。許多疾病和健康問(wèn)題，例如：心臟病、肺炎、支氣管炎、呼吸暫停綜合征等，都會(huì)引起呼吸頻率和深度的變化。濕度傳感器可...
近日，微電子所集成電路先導(dǎo)工藝研發(fā)中心在納米森林等離激元光吸收效應(yīng)及其微器件應(yīng)用研究方面取得重要進(jìn)展。基于以上問(wèn)題，微電子所陳大鵬研究員課題組與長(zhǎng)春光機(jī)所李紹娟研究員課題組、中北大學(xué)熊繼軍教授課題組合作，利用等離子體轟擊添加硅烷偶聯(lián)劑的聚酰亞胺，開(kāi)發(fā)了一種納米森林結(jié)構(gòu)的簡(jiǎn)單制備工藝，該工藝與常規(guī)...
近日，微電子所集成電路先導(dǎo)工藝研發(fā)中心在納米森林的微機(jī)電系統(tǒng)（ MEMS ）傳感器應(yīng)用研究上取得重要進(jìn)展。濕度的監(jiān)測(cè)與控制在氣象、農(nóng)業(yè)、汽車(chē)、醫(yī)藥等行業(yè)具有重要意義。隨著MEMS技術(shù)的發(fā)展，基于MEMS工藝的電容式濕度傳感器因其在寬相對(duì)濕度范圍內(nèi)具有較好的靈敏度和較好的抗干擾能力而受到廣泛關(guān)注。傳統(tǒng)的電容式濕...
皮拉尼（ Pirani ）真空計(jì)是基于熱傳導(dǎo)原理的真空計(jì)，基于傳統(tǒng)熱阻的皮拉尼真空技術(shù)在國(guó)際上已較為成熟，并有典型的真空傳感器產(chǎn)品。為了實(shí)現(xiàn)寬范圍量程的真空計(jì)量，往往需要通過(guò)組合多個(gè)真空計(jì)來(lái)實(shí)現(xiàn)。但由于傳統(tǒng)的真空計(jì)體積較大，而真空組合模塊的體積又進(jìn)一步限制了其應(yīng)用。中科院微電子所先導(dǎo)中心在微型MEMS皮拉尼...
MEMS器件是利用微細(xì)加工工藝實(shí)現(xiàn)的可以將力、熱、電、磁、光等多種物理量轉(zhuǎn)化為電學(xué)信號(hào)輸出的傳感器，按照其工作原理的不同，其形式與結(jié)構(gòu)也具有較大差異。需要針對(duì)獨(dú)特結(jié)構(gòu)的器件進(jìn)行其專(zhuān)屬工藝的開(kāi)發(fā)，甚至器件開(kāi)發(fā)中所需的設(shè)備和工藝也千差萬(wàn)別，從而使得產(chǎn)品開(kāi)發(fā)周期過(guò)長(zhǎng)，成本過(guò)高。據(jù)市場(chǎng)研究機(jī)構(gòu)Yole Developmen...
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