關(guān)于我們
綜合新聞
研究方向
平臺(tái)服務(wù)
專利及產(chǎn)業(yè)化
學(xué)習(xí)園地
MEMS器件及系統(tǒng)中心隸屬于中國(guó)科學(xué)院微電子研究所集成電路先導(dǎo)工藝研發(fā)中心，是CMOS-MEMS兼容的微納加工、檢測(cè)與代工服務(wù)于一體的多功能加工平臺(tái)。主要為客戶提供MEMS工藝開發(fā)、測(cè)試分析、設(shè)計(jì)及結(jié)構(gòu)驗(yàn)證、 MEMS器件代工制造、封裝與測(cè)試等服務(wù)。該中心可與研究所、高校和企業(yè)全方位對(duì)接，為科研服務(wù)，同時(shí)兼顧企業(yè)需求，為企業(yè)提供技術(shù)支撐與代工服務(wù)。對(duì)外開放共享是研究...
科研動(dòng)態(tài)
科研團(tuán)隊(duì)
招生信息
聯(lián)系方式
京公網(wǎng)安備110402500036號(hào) © 中國(guó)科學(xué)院微電子研究所 版權(quán)所有 地址:北京市朝陽(yáng)區(qū)北土城西路3號(hào) 郵編:100029 郵箱:icac@ime.ac.cn
MEMS器件及系統(tǒng)中心更多+
MEMS器件及系統(tǒng)中心隸屬于中國(guó)科學(xué)院微電子研究所集成電路先導(dǎo)工藝研發(fā)中心，是CMOS-MEMS兼容的微納加工、檢測(cè)與代工服務(wù)于一體的多功能加工平臺(tái)。主要為客戶提供MEMS工藝開發(fā)、測(cè)試分析、設(shè)計(jì)及結(jié)構(gòu)驗(yàn)證、 MEMS器件代工制造、封裝與測(cè)試等服務(wù)。該中心可與研究所、高校和企業(yè)全方位對(duì)接，為科研服務(wù)，同時(shí)兼顧企業(yè)需求，為企業(yè)提供技術(shù)支撐與代工服務(wù)。對(duì)外開放共享是研究...