皮拉尼（Pirani）真空計(jì)是基于熱傳導(dǎo)原理的真空計(jì)，基于傳統(tǒng)熱阻的皮拉尼真空技術(shù)在國(guó)際上已較為成熟，并有典型的真空傳感器產(chǎn)品。為了實(shí)現(xiàn)寬范圍量程的真空計(jì)量，往往需要通過(guò)組合多個(gè)真空計(jì)來(lái)實(shí)現(xiàn)。但由于傳統(tǒng)的真空計(jì)體積較大，而真空組合模塊的體積又進(jìn)一步限制了其應(yīng)用。 

　　隨著MEMS技術(shù)的發(fā)展，真空計(jì)微型化也成了當(dāng)前的研究主流，采用MEMS技術(shù)實(shí)現(xiàn)微型MEMS的制作，縮小了模塊的體積，在方便安裝的同時(shí)，也更適合于不同要求的真空系統(tǒng)中的實(shí)際應(yīng)用。 

　　中科院微電子所先導(dǎo)中心在微型MEMS皮拉尼真空計(jì)方面進(jìn)行了大量研究，采用三層鍵合的MEMS平臺(tái)工藝實(shí)現(xiàn)了不同量程皮拉尼真空計(jì)的融合，也提高了真空計(jì)的測(cè)量精度并拓展了其測(cè)量范圍。近日其研究成果Study on Fusion Mechanisms for Sensitivity Improvement and Measurable Pressure Limit Extension of Pirani Vacuum Gauges with Multi Heat Sinks被Journal of Microelectro Mechanical Systems期刊收錄（December 16, 2019），并被美國(guó)科技媒體VerticalNews的NanotechnologyWeekly正面報(bào)道（2020）。目前在該方面的研究還在繼續(xù)深入中。
 

　　采用三層鍵合MEMS平臺(tái)工藝實(shí)現(xiàn)的Pirani真空計(jì)融合結(jié)構(gòu)