中科院微電子所集成電路先導(dǎo)工藝研發(fā)中心共申請發(fā)明專利1475項（含國外發(fā)明專利申請389項），其中已獲授權(quán)932項發(fā)明專利（含國外授權(quán)發(fā)明專利333項）。這些專利涵蓋了集成電路制造先進技術(shù)代的主要技術(shù)領(lǐng)域，例如鰭式場效應(yīng)晶體管（FinFET）、高k金屬柵（HKMG）、源漏工藝等。