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課題組基于先導中心8英寸CMOS工藝線，主導開發(fā)了國內(nèi)首個面向硅基光電子技術研究和產(chǎn)品開發(fā)的，具有完整硅光工藝流片能力的8英寸硅光子平臺。該平臺已開發(fā)了成套的硅光子工藝庫和器件庫，制定了硅光子平臺的設計規(guī)則和工藝規(guī)范，形成了平臺的PDK ，并與主流光子集成設計軟件Synopsys OptoDesigner和Luceda Photonics IPKISS實現(xiàn)了集成。截止到2019年4月，微電子所硅光子平臺...
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課題組基于先導中心8英寸CMOS工藝線，主導開發(fā)了國內(nèi)首個面向硅基光電子技術研究和產(chǎn)品開發(fā)的，具有完整硅光工藝流片能力的8英寸硅光子平臺。該平臺已開發(fā)了成套的硅光子工藝庫和器件庫，制定了硅光子平臺的設計規(guī)則和工藝規(guī)范，形成了平臺的PDK ，并與主流光子集成設計軟件Synopsys OptoDesigner和Luceda Photonics IPKISS實現(xiàn)了集成。截止到2019年4月，微電子所硅光子平臺...