近日，中國科學(xué)院微電子研究所集成電路先導(dǎo)工藝研發(fā)中心陳大鵬研究員課題組在熱敏微納器件自測試領(lǐng)域取得階段性研究進(jìn)展。熱敏微納器件是通過與溫度相關(guān)的電學(xué)輸出反映被測物理量的一類器件，包括：流量計、皮拉尼真空計、非制冷紅外探測器等。因器件的工作涉及熱電轉(zhuǎn)換，所以熱學(xué)參數(shù)和電學(xué)參數(shù)是器件的兩類重要參數(shù)。...
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