計算光刻中心

教育背景
2009/09-2014/07，中國科學院大學/中國科學院半導體研究所，集成光電子國家重點實驗室，碩博連讀
2005/09-2009/07，河北工業大學，材料學院，本科
工作簡歷
2018/03-至今，中國科學院微電子研究所，副研究員
2014/07-2018/03，中國科學院微電子研究所，助理研究員

集成電路先進光刻計算測量，先進對準和套刻仿真，SEM結構三維重建，DSA工藝與仿真

1.納米結構掃描電子顯微俯視圖像的三維重建基本模型及算法研究（2017.1~2019.12），國家自然科學基金青年基金，負責人
2.國產計算光刻系統性能評估（2017.1~2020.12），國家科技重大專項子課題，參與

1. Libin Zhang, Le Ma, Rui Chen, Jianfang He, Xiaojing Su, Lisong Dong, Yajuan Su, Yayi Wei, “Pattern quality and defect evaluation based on cross correlation and power spectral density methods,” J. Vac. Sci. Technol. B 36(5), 052902, 2018
2. Libin Zhang, Lisong Dong, Xiaojing Su, Yayi Wei*, Tianchun Ye, “New alignment mark designs in single patterning and self-aligned double patterning,” Microelectronic Engineering 179: 18–24, 2017.
3. Libin Zhang, Lisong Dong, Xiaojing Su, Yayi Wei*, “Characteristic study of image-based alignment for increasing accuracy in lithography application,” J. Vac. Sci. Technol. B, 35(6): 061601, 2017
4. Libin Zhang, Yonghao Fei, Tongtong Cao, Yanmei Cao, Qingyang Xu, Shaowu Chen*, Multibistability and self-pulsation in nonlinear high-Q silicon microring resonators considering thermo-optical effect, Physical Review A, 2013, 87(5):053805
5. Libin Zhang, Yonghao Fei, Yanmei Cao, Shaowu Chen*, Experimental observations of thermo-optical bistability and self-pulsation in silicon microring resonators, Journal of the Optical Society of America B-Optical Physics, 2014, 31(2)：201-206

2017年中國科學院微電子研究所第五屆“尋找科研新星”大賽一等獎，榮獲“科研新星”榮譽稱號
2018年中國科學院微電子研究所優秀共產黨員

1.張利斌，韋亞一，一種自對準雙重圖形成像方法，中國，ZL201510218532.7
2.張利斌，董立松，蘇曉菁，韋亞一，五級衍射光柵結構及其制備方法、晶圓光刻對準方法，中國，ZL201610140129.1
3.張利斌，董立松，蘇曉菁，韋亞一，七級衍射光柵結構及其制備方法、晶圓光刻對準方法，中國，ZL201610140991.2
4.張利斌，韋亞一，一種光刻工藝窗口的測量方法，中國，ZL 201610890095.8
5.張利斌，粟雅娟，韋亞一，一種掃描電子顯微圖像的三維重構方法，中國，ZL201510891707.0
6.張利斌，韋亞一，一種線條粗糙度的測量方法及系統，中國，ZL201610645840.2