近日，由中國(guó)科學(xué)院高能物理研究所濟(jì)南研究部（濟(jì)南中科核技術(shù)研究院）自主研發(fā)的全自動(dòng)絕緣柵雙極晶體管（IGBT）缺陷X射線三維檢測(cè)設(shè)備，在功率半導(dǎo)體行業(yè)聯(lián)盟第八屆國(guó)際學(xué)術(shù)論壇上亮相。該設(shè)備依托X射線計(jì)算機(jī)層析成像技術(shù)和先進(jìn)的缺陷智能檢測(cè)軟件算法，為IGBT模塊封測(cè)提供了全新的無(wú)損檢測(cè)解決方案。

　　IGBT是一種功率半導(dǎo)體器件，被稱為電力電子裝置的“心臟”，在高鐵、新能源汽車、軌道交通、智能電網(wǎng)、航空航天等領(lǐng)域應(yīng)用極廣。

　　中國(guó)科學(xué)院高能物理研究所副研究員劉寶東介紹，目前，對(duì)IGBT檢測(cè)的常用手段是超聲檢測(cè)，但這種方法非常容易受散熱柱的干擾，導(dǎo)致檢測(cè)偏差。另外，超聲檢測(cè)要將模塊浸入水中，需要隔離水的工裝，還需要人工操作，檢測(cè)過(guò)程復(fù)雜，難以實(shí)現(xiàn)在線檢測(cè)，效率比較低。同時(shí)，IGBT模塊具有兩個(gè)焊料層，用普通的二維X光成像，會(huì)將兩層混在一起，無(wú)法區(qū)分，而且有些大功率的模塊帶有散熱柱，會(huì)嚴(yán)重影響氣孔檢測(cè)的準(zhǔn)確率。

　　劉寶東介紹，該設(shè)備基于X射線計(jì)算機(jī)層析成像技術(shù)，并將人工智能算法引入檢測(cè)系統(tǒng)，可對(duì)不合格產(chǎn)品進(jìn)行自動(dòng)識(shí)別及分揀，實(shí)現(xiàn)了IGBT模塊的全自動(dòng)在線無(wú)損檢測(cè)以及數(shù)據(jù)的實(shí)時(shí)反饋存儲(chǔ)。