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半極性藍寶石GaN激光器的連續波操作

稿件來源:今日半導體 責任編輯:ICAC 發布時間:2020-08-10

   

  美國圣塔芭芭拉大學(UCSB)宣稱在4英寸藍寶石襯底上生長出第一個室溫下連續波(CW)電驅動半極性氮化鎵(GaN)藍色激光二極管(LDs)。研究人員表示該工作為大幅降低半極性激光二極管成本,并加快未來半極性GaN激光二極管及其應用開發方面做出了重大突破。

  先藍寶石襯底上生長半極性GaN層。激光二極管結構采用沒有氮化鋁鎵(AlGaN)覆層的設計,并有一個薄的AlGaN電子阻擋層(EBL)。還通過MOCVD生長了具有InGaN多量子阱(MQW)有源區的外延結構。 用氧化銦錫(Sn)(ITO)完成包覆,并在高溫和低錫摻雜濃度下沉積。為了進行測試,將藍寶石襯底的厚度從650μm減至50μm,即首先拋光至90μm,然后進行電感耦合等離子體蝕刻至50μm。

  在占空比為0.05%的情況下以500ns脈沖運行時,1800μmx8μm器件的閾值電流密度為6kA / cm2(880mA)。正向電壓為6.9V,墻上插頭效率(WPE)在1100mA(1.1A)下達到4.1% )。

  單面注入2.8A電流可獲得的最大光輸出功率(P0)為1028mW(1.028W)。該團隊表示這是迄今為止在異質襯底上異質外延生長的半極性LD的最佳性能。在藍寶石襯底上生長的半極性激光二極管的P0大于1W,標志著在探索低成本和高性能半極性激光二極管方面的重大突破。在注入1.4A電流時P0值為243mW。該設備在連續波條件下運行了一個小時,而性能沒有明顯下降。

  該團隊認為將頂部倒裝芯片鍵合至高導熱性襯底可以顯著改善CW操作下的激光二極管性能和WPE。對發射光偏振的研究表明,在注入電流為1100mA時,與橫向磁(TM)相比,它幾乎是100%的橫向電(TE)。

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