位于美國密蘇里州德克斯特市的k-Space Associates公司為其計(jì)量工具增加了一個(gè)新的配件kSA Insight。美國k-Space公司作為原位、在線和離線測(cè)試設(shè)備的主要制造商，主要為半導(dǎo)體、薄膜材料和光伏產(chǎn)業(yè)的研究機(jī)構(gòu)和制造商提供專業(yè)的材料性能測(cè)試設(shè)備。

　　該工具允許研究人員和操作人員從k-Space軟件中實(shí)時(shí)查看晶圓和壓板。成像系統(tǒng)采用高分辨率彩色攝像機(jī)，并與所有k-Space薄膜計(jì)量軟件兼容，即插即用。

　　首席執(zhí)行官Darryl Barlett表示：“一些客戶要求在沉積過程中能夠從電腦屏幕上看到他們的晶圓和壓盤，因此我們?cè)O(shè)計(jì)了這個(gè)工具，以便與他們現(xiàn)有的k-Space軟件無縫集成。說。無論運(yùn)行的是kSA 400、kSA BandiT、kSA MOS還是kSA ICE，都可以使用此插件在電腦上快捷地查看發(fā)熱板和晶圓。”

　　客戶可以調(diào)整配件，以適應(yīng)不同大小的視口，而且變焦鏡擁有一個(gè)大的變焦范圍，可以在較大距離范圍內(nèi)工作。實(shí)時(shí)視頻可以放大或縮小，并且運(yùn)用k-Space軟件可以在任何時(shí)候捕捉和存儲(chǔ)全分辨率彩色圖像。