(1)“九五”國家重點(diǎn)科技攻關(guān)項目97－762“0.1-0.35微米集成電路關(guān)鍵技術(shù)研究”的子專題97－762－03 “先進(jìn)的深亞微米工藝技術(shù)”；

(2)科學(xué)院重大創(chuàng)新方向性項目“電子束縮小投影光刻機(jī)（SCALPEL）”的子課題“投影電子束掩模研制”；

(3)科技部863項目“多傳感器及陣列傳感器集成”；

(4)科技部863項目“無掩模光刻系統(tǒng)”；

(5)科技部863項目；

(6)自然基金儀器專項“新型光學(xué)讀出非制冷紅外成像系統(tǒng)”；

(7)自然基金“懸臂梁微尖端陣列器件加工及應(yīng)用技術(shù)研究”；

(8)中科院知識創(chuàng)新方向性項目。

2003年“0.1-0.35微米集成電路關(guān)鍵技術(shù)研究”獲北京市科技進(jìn)步一等獎