MEMS器件及系統中心

當前位置

教育背景
2005/9–2010/7，中國科學院微電子研究所，微電子與固體電子學，博士
2001/9 - 2005/7，四川大學，微電子學，學士
工作簡歷
2018/11 -至今，中國科學院微電子研究所，集成電路先導工藝研發中心，副研究員
2014/5 -2018/10，中國科學院微電子研究所，智能感知中心，副研究員
2011/11–2014/5：重慶綠色智能技術研究院，電子信息技術研究所，副研究員
2010/9–2011/11：重慶大學，光電工程學院，講師

1. 國家自然科學基金青年項目，2017/01-2019/12，在研，主持。
2. 國家863項目，2015/3-2018/3，在研，參與。
3. 中國科學院“西部之光”計劃西部博士項目，2012/1-2014/12，已結題，主持。
4. 教育部科學技術研究重點項目，2011/01-2013/12，已結題，參與。

1. Jianyu Fu*, Haiping Shang, Zhigang Li, Weibing Wang, Dapeng Chen, Thermal annealing effects on the stress stability in silicon dioxide films grown by plasma-enhanced chemical vapor deposition, Microsystem technologies, 2017, 23(7): 2753-2757.
2. Jianyu Fu, Haiping Shang*, Haitao Shi, Zhigang Li, Yi Ou, Dapeng Chen, Qingchuan Zhang, Optical sensitivity non-uniformity analysis and optimization of a tilt optical readout focal plane array, Journal of Micromechanics and Microengineering, 2016, 26: 025001.
3. Jianyu Fu, Haiping Shang*, Haitao Shi, Zhigang Li, Yi Ou, Dapeng Chen, Qingchuan Zhang, Design optimization and performance analysis of deformed optical readout focal plane array, Journal of Micromechanics and Microengineering, 2015, 25: 065012.
4. Haiping Shang, Jianyu Fu*, Changqing Xie*, Zhigang Li, Dapeng Chen, Improving stress stability in low-pressure chemical vapor deposited silicon dioxide films by ion implantation, Thin Solid Films, 2016, 598: 103-108.

1. 傅劍宇，吳迪，周博天，袁野，嚴胡勇，丙酮氣敏傳感器及其制備方法，2017.4，中國，ZL201410621459.3
2. 傅劍宇，吳迪，王國胤，加速度開關及其控制方法，2016.8，中國，ZL201310162834.8
3. 傅劍宇，溫志渝，陳李，李東玲，尚正國，一種微機械加速度開關，2013.12，中國，ZL201110188259.X
4. 傅劍宇，陳大鵬，景玉鵬，歐毅，葉甜春，一種制作納米級圖形的方法，2011.12，中國，ZL 200710177797.2
5. 傅劍宇，陳大鵬，景玉鵬，歐毅，葉甜春，基于場致電子發射原理的微尖端陣列器件及其制作方法，2010.9，中國，ZL 200710177795.3