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技術(shù)能力

硅光子平臺(tái)技術(shù)能力

稿件來(lái)源：ICAC 責(zé)任編輯： 發(fā)布時(shí)間：2018-11-14
　　目前，該平臺(tái)已成功開發(fā)了一系列硅光子流片工藝模塊、標(biāo)準(zhǔn)工藝流程和PDK。其中，標(biāo)準(zhǔn)單元庫(kù)主要包括矩形波導(dǎo)、脊形波導(dǎo)、MMI、Y-分支、光交叉器、AWG、光柵耦合器等無(wú)源器件，有源器件實(shí)現(xiàn)了40Gbps的鍺探測(cè)器和調(diào)制器，如圖1和表1所示。自2017年5月發(fā)布以來(lái)，該平臺(tái)已完成多批次MPW和客戶定制流片服務(wù)，器件性能達(dá)到國(guó)際代工平臺(tái)水平，得到了業(yè)內(nèi)人士的一致認(rèn)可。

　　說(shuō)明: http://www.ime.cas.cn/icac/service/service_2/service_2_2/201811/W020181114371734602878.png 說(shuō)明: http://www.ime.cas.cn/icac/service/service_2/service_2_2/201811/W020181114371734741418.jpg

　　說(shuō)明: http://www.ime.cas.cn/icac/service/service_2/service_2_2/201811/W020181114371734808007.jpg 說(shuō)明: http://www.ime.cas.cn/icac/service/service_2/service_2_2/201811/W020181114371734872574.jpg

　　圖1 平臺(tái)部分工藝及器件

　　表1平臺(tái)所開發(fā)的硅光子器件及指標(biāo)

　　說(shuō)明: http://www.ime.cas.cn/icac/service/service_2/service_2_1/201811/W020181114367236249520.png 

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