《Journal of Microelectronic Manufacturing》(JoMM,ISSN:2578-3769)旨在發表集成電路制造領域中從基礎研究階段到工業大規模量產階段的研究成果,目前已被Crossref、DOAJ、CNKI、CSTJ、CAS等數據庫收錄。JoMM的發表內容包括但不限于Design、Process、Metrology & Yield Control、Packaging、Materials、Equipment 等方面。近期,JoMM出版了第三卷第三期。
本期專題文章如下:
Study of Inverse Lithography Approaches based on Deep Learning
Xianqiang Zheng, Xu Ma, Shengen Zhang, Yihua Pan, Gonzalo R. Arce.
2020 JoMM Volume 3, Issue 3: 20030301
Recognition and Visualization of Lithography Defects based on Transfer Learning
Bo Liu, Pengzheng Gao, Libin Zhang, Jiajin Zhang, Yuhong Zhao, Yayi Wei.
2020 JoMM Volume 3, Issue 3: 20030302
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綜合新聞