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氮極Ⅲ族氮化物隧道結發光二極管的首次展示

稿件來源:今日半導體 責任編輯:ICAC 發布時間:2020-08-03

  中國和沙特阿拉伯的研究人員首次展示了氮極隧道結(TJ)氮化銦鎵(InGaN)發光二極管(LED),研究人員稱,以前已經報道了具有良好性能的N極隧道結,但是目前僅獲得了III極III型氮化物TJ-LED。

  研究團隊使用極化摻雜的氮化鋁鎵(AlGaN)來提高TJ的性能,產生更高的空穴濃度,并增加了從電極散布的橫向電流。這項工作中的隧道結電流密度仍低于所報道的N極GaN / InGaN / GaN TJ的電流密度,這可能是由于在隧道結中使用富鋁AlGaN。

  對隧道結的頂部n-GaN層進行優化,使用連續的氨水(NH3)以及交替爆裂的硅烷和三甲基鎵(TMG)進行定期摻雜。研究認為與在N極GaN中進行常規連續Si摻雜相比,周期性的Si-δ摻雜中V坑的形成受到抑制可能與拉伸應力的降低有關。

  隧道結下方的p-AlGaN層,保持相對較薄的75nm,以優化漸變成分的極化摻雜效果。 p型鎂摻雜劑由雙環戊二烯基鎂(Cp2Mg)提供。空穴濃度和遷移率分別為9×1017 / cm 3和7.5cm 2 / V-s。在隧道結的p型和n型層之間放置一個薄Al0.4Ga0.6N中間層。

  隧道結使給定的正向電壓可以實現更高的電流,兩個器件的開啟電壓均為約2.5V。在線性區域中,隧道結的總電阻為264Ω,參考器件中的總電阻為439Ω。兩種器件的峰值波長均為430nm。

  在光輸出方面,通過注入20A / cm2,TJ-LED的光輸出強度提高了70%。外部量子效率(EQE)也更高,在20A / cm2時為1.7倍,研究人員將改進的性能歸因于TJ-LED較低的總電阻。

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