皮拉尼（Pirani）真空計是基于熱傳導原理的真空計，基于傳統熱阻的皮拉尼真空技術在國際上已較為成熟，并有典型的真空傳感器產品。為了實現寬范圍量程的真空計量，往往需要通過組合多個真空計來實現。但由于傳統的真空計體積較大，而真空組合模塊的體積又進一步限制了其應用。 

　　隨著MEMS技術的發展，真空計微型化也成了當前的研究主流，采用MEMS技術實現微型MEMS的制作，縮小了模塊的體積，在方便安裝的同時，也更適合于不同要求的真空系統中的實際應用。 

　　中科院微電子所先導中心在微型MEMS皮拉尼真空計方面進行了大量研究，采用三層鍵合的MEMS平臺工藝實現了不同量程皮拉尼真空計的融合，也提高了真空計的測量精度并拓展了其測量范圍。近日其研究成果Study on Fusion Mechanisms for Sensitivity Improvement and Measurable Pressure Limit Extension of Pirani Vacuum Gauges with Multi Heat Sinks被Journal of Microelectro Mechanical Systems期刊收錄（December 16, 2019），并被美國科技媒體VerticalNews的NanotechnologyWeekly正面報道（2020）。目前在該方面的研究還在繼續深入中。
 

　　采用三層鍵合MEMS平臺工藝實現的Pirani真空計融合結構