4月27日,由微電子所先導中心策劃并組織的“面向新時期的研發(fā)進展專題系列講座”第一期講座開講。根據國家對疫情防控的要求,講座通過線上方式進行。先導中心各課題組共60余名科研人員參加了講座。?
先導中心主任王文武研究員首先闡述了會議背景。殷華湘研究員、吳振華研究員分別作了《3納米下集成電路新器件工藝研發(fā)》、《多物理TCAD仿真方法及應用研究》的學術報告,詳盡介紹了通過實驗與仿真相結合、開展高級半導體器件和集成技術的探索與開發(fā)情況,以及形成的創(chuàng)新成果。聽眾通過視頻連線與報告人進行了深入交流,大家都感到受益匪淺。?
下一步,系列講座活動將以為課題組間提供交流溝通平臺為目標,邀請各研發(fā)方向科研人員,圍繞主研方向、研發(fā)進展等開展報告與討論,進一步加強各研發(fā)方向之間的技術交流、促進科研進展、加強環(huán)節(jié)協(xié)調。?
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