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微電子所在計算光刻研究方面取得顯著進展

2016-03-31

近日，微電子所集成電路先導工藝研發(fā)中心韋亞一課題組在與武漢新芯集成電路制造公司光刻部門以及計算光刻軟件商ASML和Mentor Graphics合作中，對光源和掩模聯(lián)合優(yōu)化、設計與工藝聯(lián)合優(yōu)化、焦...

微電子所舉辦2016年第二期“芯·文化”論壇

2016-03-31

新加坡南洋理工大學陳家陞來微電子所作學術交流

2016-03-31

微電子所青促會小組召開2015年度工作總結會

2016-03-30

美國密歇根理工大學Hu Shiyan博士來微電子所做學術交流

2016-03-25