3月18日，新加坡南洋理工大學(xué)等離子創(chuàng)新實(shí)驗(yàn)室執(zhí)行總裁陳家陞博士來微電子所進(jìn)行學(xué)術(shù)交流并作學(xué)術(shù)報(bào)告。微電子所科研人員、研究生共30余人參加了交流活動(dòng)。  

　　陳家陞在報(bào)告中詳細(xì)介紹了半導(dǎo)體材料基因組中先進(jìn)等離子體源和診斷系統(tǒng)的發(fā)展近況，展示了新加坡南洋理工大學(xué)等離子體處理創(chuàng)新實(shí)驗(yàn)室、等離子體源和應(yīng)用中心的科研工作，并就等離子清洗、無損檢測(cè)及微電子設(shè)備相關(guān)技術(shù)問題同與會(huì)人員就進(jìn)行了深入交流，現(xiàn)場(chǎng)氣氛活躍，學(xué)術(shù)氣息濃厚。陳家陞還在微電子所科研人員的陪同下實(shí)地參觀了微電子儀器設(shè)備研發(fā)平臺(tái)和集成電路先導(dǎo)工藝研發(fā)平臺(tái)。 

　　陳家陞現(xiàn)任新加坡南洋理工大學(xué)等離子源與應(yīng)用研究中心首席研究員兼研究生導(dǎo)師，研究內(nèi)容涉及高密度等離子原子化診斷與材料處理以及硅太陽能電池制造應(yīng)用。 　  

交流會(huì)現(xiàn)場(chǎng) 

參觀微電子儀器設(shè)備研發(fā)平臺(tái)