

陰和俊副院長首先對微電子所近幾年來通過“抓住機(jī)遇,承擔(dān)國家重大科技項(xiàng)目”、“人才隊(duì)伍建設(shè)成績斐然,凸顯跨越式發(fā)展”、“院地合作輻射面寬、扎實(shí)有力”、“創(chuàng)新意識強(qiáng)、大膽思考、敢于...


多場驅(qū)動(dòng)鍵合系統(tǒng)采用多場耦合驅(qū)動(dòng)方式(電場、溫度場、壓力場),具有獨(dú)特的紫石英壓力分布調(diào)整結(jié)構(gòu),可完成陽極鍵合、黏著鍵合、共晶鍵合等多種工藝。與現(xiàn)有鍵合設(shè)備的剛性壓力結(jié)構(gòu)相比,該...
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