1月16日，中科院計劃財務局組織專家到微電子研究所對微電子設備技術研究室（八室）承擔的院裝備項目“多場驅動鍵合系統(tǒng)研制”進行了驗收。經(jīng)檢查，該項目完成了任務指標要求，經(jīng)費使用合理，驗收材料齊全，專家組一致同意通過驗收。
　　多場驅動鍵合系統(tǒng)采用多場耦合驅動方式（電場、溫度場、壓力場），具有獨特的紫石英壓力分布調整結構，可完成陽極鍵合、黏著鍵合、共晶鍵合等多種工藝。與現(xiàn)有鍵合設備的剛性壓力結構相比,該裝置對壓頭之間非平面性、各種厚度和異質薄膜材料的適應性更強，避免鍵合過程中的材料破損，提高鍵合的均勻性和成品率。該系統(tǒng)的研制為國家發(fā)展具有自主知識產權的下一代IC關鍵裝備進行了技術儲備。
　　驗收專家組聽取了項目組的研制報告、使用報告、財務報告及測試專家組的現(xiàn)場測試報告并在現(xiàn)場檢查了設備運行情況后，一致認為該系統(tǒng)為國內首次研制的自主知識產權的多場驅動鍵合系統(tǒng)，其獨特的自適應壓力分布調整結構具有創(chuàng)新性，并且已成功應用于氣密性封裝、LED鍵合封裝等研究，并創(chuàng)新性地實現(xiàn)了一種全新的大尺寸高質量石墨烯的宏量制備方法，具有重要的科學意義和實用價值。

設備圖片

報告會

專家組在現(xiàn)場檢查設備

項目組聯(lián)系方式：
項目負責人：李超波
郵　　  箱：lichaobo@ime.ac.cn
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