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所長(zhǎng)致辭
砥礪前行六十載 自主創(chuàng)新鑄未來(lái)
1958年10月,為研制“兩彈一星”專用109計(jì)算機(jī),中國(guó)科學(xué)院微電子研究所的前身、我國(guó)第一個(gè)半導(dǎo)體器件生產(chǎn)廠——“中國(guó)科學(xué)院109廠”成立。1986年,109廠與中科院半導(dǎo)體所和計(jì)算所有關(guān)微電子學(xué)研究部門合并,成立“中國(guó)科學(xué)院微電子中心”。隨著學(xué)科的發(fā)展,2003年9月,微電子中心正式更名為“中國(guó)科學(xué)院微電子研究所”。
109廠成立之初,面臨人才缺失、技術(shù)不足等巨大困難。在李德仲、唐生金等同志的精心組織領(lǐng)導(dǎo)下,在王守武、林蘭英、王守覺(jué)、廖德榮、劉家樹等老一輩科學(xué)家的努力下,109廠面向國(guó)家戰(zhàn)略需求,在半導(dǎo)體材料和器件的生產(chǎn)研制方面填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)空白。1960年,研制生產(chǎn)國(guó)內(nèi)第一批鍺晶體管,為我國(guó)第一臺(tái)鍺晶體管計(jì)算機(jī)——109乙機(jī)的研制成功做出了重要貢獻(xiàn)。1964年,在國(guó)內(nèi)率先開發(fā)生產(chǎn)硅平面晶體管,為我國(guó)第一臺(tái)硅晶體管計(jì)算機(jī)、被譽(yù)為“兩彈一星”功勛計(jì)算機(jī)——109丙機(jī)的誕生做出了歷史性貢獻(xiàn)。1965年,在國(guó)內(nèi)率先研制成功集成電路,用于研發(fā)我國(guó)第一臺(tái)集成電路計(jì)算機(jī)“156”機(jī)。1966年,合作研制我國(guó)第一臺(tái)65型接觸式光刻機(jī)和超聲波鋁絲壓焊機(jī),在全國(guó)推廣使用。1970年,合作研制遠(yuǎn)洋跟蹤測(cè)量船“遠(yuǎn)望號(hào)”中心控制151計(jì)算機(jī)。1976年,合作研制我國(guó)第一臺(tái)集成電路百萬(wàn)次計(jì)算機(jī)——“013”機(jī),突破了西方國(guó)家向我國(guó)出口百萬(wàn)次計(jì)算機(jī)的限制。1980年,研發(fā)出我國(guó)第一塊16K 存儲(chǔ)器。1983年,合作研制我國(guó)第一臺(tái)每秒運(yùn)算千萬(wàn)次計(jì)算機(jī)——757機(jī)。109廠為我國(guó)集成電路事業(yè)做出了奠基性、開拓性貢獻(xiàn)。時(shí)任中國(guó)科學(xué)院院長(zhǎng)郭沫若贊賞說(shuō):“有了109(廠),中國(guó)就(開始)有半導(dǎo)體事業(yè)了。”
20世紀(jì)80年代,集成電路技術(shù)突飛猛進(jìn)。在吳德馨、馬俊如、夏武穎等科學(xué)家的帶領(lǐng)下,微電子中心深入推進(jìn)集成電路技術(shù)及產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)。1986年,成功研制我國(guó)第一塊自主設(shè)計(jì)的64K存儲(chǔ)器。1990年,在國(guó)內(nèi)率先開發(fā)成功2微米成套CMOS工藝技術(shù),自行設(shè)計(jì)研制成功國(guó)內(nèi)首臺(tái)反映離子刻蝕設(shè)備。1992年,開通國(guó)內(nèi)首條4英寸工藝線,具備了0.8微米成套工藝研制能力,為我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)的持續(xù)發(fā)展做出了應(yīng)有貢獻(xiàn)。
經(jīng)過(guò)六十年的發(fā)展,微電子所已成為國(guó)內(nèi)集成電路領(lǐng)域?qū)W科方向布局最完整的綜合研究與開發(fā)機(jī)構(gòu),研究領(lǐng)域包括微電子設(shè)計(jì)、微電子工藝與制造、微電子器件、集成電路裝備、微納加工、物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)等。研究所以行業(yè)應(yīng)用、行業(yè)服務(wù)、核心產(chǎn)品和基礎(chǔ)研究為重點(diǎn)進(jìn)行科研布局,設(shè)有兩個(gè)基礎(chǔ)研究類中國(guó)科學(xué)院重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,4個(gè)行業(yè)服務(wù)類研發(fā)中心,6個(gè)行業(yè)應(yīng)用類研發(fā)中心,3個(gè)核心產(chǎn)品類研發(fā)中心。近年來(lái),在集成電路先導(dǎo)技術(shù)、物聯(lián)網(wǎng)核心技術(shù)與應(yīng)用、高可靠器件與電路、新一代微電子器件與集成技術(shù)方面取得了一系列重大創(chuàng)新成果,攻克了22-14納米工藝和集成技術(shù),形成了成體系的自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)和關(guān)鍵技術(shù);突破了智能制造、農(nóng)資物聯(lián)網(wǎng)、公共安全、車聯(lián)網(wǎng)、智能集成傳感器等物聯(lián)網(wǎng)關(guān)鍵核心技術(shù);研發(fā)出上百款高可靠器件與電路,支撐了多項(xiàng)國(guó)家工程;阻變式存儲(chǔ)器基礎(chǔ)研究和三維集成技術(shù)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。微電子所已成為中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)的國(guó)家隊(duì),引領(lǐng)中國(guó)集成電路技術(shù)創(chuàng)新發(fā)展。
六十載櫛風(fēng)沐雨。三代微電子人艱苦奮斗、開拓創(chuàng)新,用心血和汗水書寫了光榮歷史、創(chuàng)造了驕人成績(jī)。值此建所60周年之際,謹(jǐn)向微電子所全體職工、研究生和離退休老同志,向在微電子所工作過(guò)、學(xué)習(xí)過(guò)的同志、同學(xué),向長(zhǎng)期關(guān)心支持微電子所發(fā)展的各級(jí)領(lǐng)導(dǎo)、專家學(xué)者、業(yè)界朋友致以衷心感謝!
砥礪前行六十載,自主創(chuàng)新鑄未來(lái)。在新的歷史時(shí)期,微電子所將繼續(xù)秉承“惟精惟一,求是求新”的所訓(xùn),不忘科技報(bào)國(guó)初心,牢記科技強(qiáng)國(guó)使命,為民族的復(fù)興、人民的幸福、國(guó)家的強(qiáng)盛砥礪前行、奮斗不止。
