2月，微電子中心作為主要成員，與清華大學微電子所、北京大學微電子所、中科院半導體所組建“國家北方微電子基地”，成立“深亞微米集成電路技術國家實驗室”。同年還與香港科技大學共同創造微電子聯合實驗室。

吳德馨院士與香港科技大學理學院院長高秉強（前排左）簽署協議，成立微電子聯合實驗室

　　11月26日，“0.8微米CMOS集成電路芯片制造技術” 獲中科院科學技術進步一等獎。“新結構器件及微細加工研究” 獲中科院科學技術進步二等獎。“VDMOSFET用高陰厚層硅外延片研制” 獲中科院科學技術進步三等獎。

　　12月，“0.8微米CMOS集成電路芯片制造技術”、“HBT和HEMT基礎技術研究”、 “亞微米技術研究”、 “大電流VDMOS器件研究開發”分獲國家“八五”科技攻關重大成果獎。

　　12月，“高衍射效率二元光學器件的設計與制備技術”獲國家科技進步三等獎。

　　微電子中心獲得微電子學與固體電子學博士學位授予權，標志著中心研究生教育又邁上新的臺階。

　　1997年

　　12月5日，“砷化鎵材料、器件與電路”、 “萬門高速CMOS門陳列及其專用電路”獲中科院科學技術進步二等獎。

　　12月， “0.8微米CMOS集成電路芯片制造技術”獲國家科技進步二等獎。

　　微電子中心所屬的前、后工藝線、電子廠、泰龍公司等單位，生產銷售的半導體器件與機電產品年度創收近2000萬元。

　　2001年

　　微電子中心作為中科院知識創新工程試點單位，根據國家和行業發展需求再次對研究方向進行凝練，確定六個研究方向，分別為：深亞微米集成電路關鍵工藝技術、SOI/CMOS集成電路技術、基于“IP”庫的專用集成電路設計、高性能專用集成電路設計、深亞微米微細加工技術、化合物半導體器件與電路。

　　2月，“亞微米深亞微米CMOS用薄層外延硅材料”、 “0.1μmGaAsHFET器件及深亞微米加工技術”均被評為“九五”國家重點科技攻關計劃優秀科技成果。

　　2002年

　　4月12日，中科院院長、黨組書記路甬祥視察微電子中心。

　　11月，中科院批準設立非法人事業機構中國科學院EDA中心，面向全國開展技術服務。

　　12月，“0.18 / 0.1微米CMOS集成電路關鍵技術研究”獲北京市科學技術二等獎。

　　微電子中心和青島青智等企業及自然人合作，成立北京中科微電子技術有限公司。公司立足于面向國內市場，與其它半導體廠商合作，設計和開發有自主知識產權的集成電路產品，并在電腦周邊、音頻產品、汽車電子等產業形成自己的集成電路產品線。