1991年 國務院學位委員會批準微電子中心“半導體器件與微電子學”專業(yè)的碩士學位授予權。使研究生教育培養(yǎng)工作進入獨立招生階段。
3月，“光電、模擬和I2L相容的傳感器集成技術研究”獲中科院科學技術進步三等獎。“電子程序快門專用集成電路B1218” 獲北京市科學技術進步二等獎。
10月，“VDMOS器件技術開發(fā)和產(chǎn)品系列定型”獲中科院科學技術進步二等獎。
11月，吳德馨當選為中國科學院院士（學部委員）。
1992年
10月，“大電流功率VDMOS場效應器件KWP50N05 KWH50N05”、 “觸摸開關TC9135”分獲1992年度國家級新產(chǎn)品證書。
10月26日，“三維微結構純位相片的設計與制作”、 “專用、半專用電路設計與制造”分獲中科院科學技術進步二等獎。
10月26日，“1－1.5微米新工藝及新器件結構的探索性研究”、 “高電子遷移率晶體管的預研” 、“IAAS1201 PCB級故障自檢專用集成電路”分獲中科院科學技術進步三等獎。
1993年
3月，中央政治局委員、國務院副總理鄒家華在中科院院長周光召等領導同志陪同下，視察微電子中心，并題詞：“艱苦創(chuàng)業(yè)成果多，再接再勵志氣高，科技產(chǎn)銷結合緊，開拓前進路益寬。”
10月23日，“多功能磁增強反應離子刻蝕機”、 “雙線制煙霧報警器電路KW26201、KW26202”分獲中科院科學技術進步二等獎。
12月，“熊貓集成電路CAD系統(tǒng)”獲國家科學技術進步一等獎。
1994年
3月，“實用型分布重復投影光刻技術”榮獲電子部等單位十大科技成果獎。
11月，“電子束摻雜技術研究”榮獲中國科學院科技進步三等獎。
1995年
自主開發(fā)成功國內(nèi)首個0.8微米成套工藝，進行0.5微米基礎工藝預研。“0.8微米集成電路制造技術”入選當年“國內(nèi)電子科技十大新聞”。
吳德馨院士在八五攻關項目0.8微米LSI工藝技術驗收會上作報告
