成果展示
我所CMOS工藝線順利交付第一批商業產品
經過兩年的艱苦努力,我所一室CMOS工藝線全體員工克服了經費短缺、設備老化、人員不足的困難,使新的CMOS平臺從無到有,初具規模,并于日前成功完成北京奇攀微電子公司第一批4英寸CMOS器件產品訂單。首批交付產品經對方檢驗,性能指標良好,完全達到驗收標準。全部產品訂單完成后,合同標的總額可達320萬以上。此項工作的順利完成,標志著一室CMOS工藝平臺調試工作達到了一個新的階段。
CMOS工藝線全體職工盡心盡責,徐秋霞研究員嚴把每道工序的質量關,親自檢驗;石莎莉、王文武博士跟單流片,下到一線操作設備;盧狄克、歐毅博士加班加點,保證注入機和Al濺射臺的正常運行;董立軍、李詢、董德凱負責高溫、柵氧、退火等多道CVD和高溫工藝的穩定可靠;劉輝、王燕鵲保質保量地完成了光刻、顯影工作;廉永梅、楊寶亮等同志克服場地狹小、設施簡陋等困難,按時完成了清洗、柵氧腐蝕、濕法刻鋁、測試等工作。除此之外,外聯和后勤工作也得到了大力支持,張國歡積極與奇攀公司進行聯絡,落實訂單;資產處郭建剛保證了各種消耗材料的及時供應。
和國內其他大型生產線相比,一室CMOS工藝線還是一條相對簡陋的科研型工藝線,但是,該批訂單的完成標志著微電子所前工藝線在經過和上華公司的合并、重組后,終于浴火重生,成功嬗變,在所領導和兄弟部門的支持下,重新建立起了一只敢打硬仗、能打硬仗的隊伍。隨著十一五國家重大專項的即將啟動,該平臺必將成為微電子所十一五申請國家重大專項的基礎科研平臺。