近日，“中國科學院微電子器件與集成技術重點實驗室”被批準正式成立，標志著我所“微電子器件與集成技術重點實驗室” 正式升級為院重點實驗室。

　　2008年10月，院計財局和高技術局組織專家組對我所 “微電子器件與集成技術重點實驗室”進行了現場評審。專家組聽取了實驗室主任葉甜春、副主任夏洋及劉明、劉新宇、韓鄭生、賈銳等研究員的工作報告和學術報告，并進行了現場考察，經認真討論后認為：實驗室研究方向及目標明確，符合中國科學院總體學科布局、研究所定位和相關學科的發展態勢；在微電子前沿工藝、新器件和新設備等方面取得了一系列重大成果；形成了一支結構合理、協作精神好、創新能力強的科研隊伍；對外合作交流活躍，組織開展了多項實質性的國際、國內合作，與國內外多所知名大學、研究機構、企業建立了良好的合作關系；已按照院重點實驗室的要求建立了健全的規范管理制度和運行機制。最后，專家組一致認為該實驗室已具備建設中科院重點實驗室的條件。

　　2008年11月，根據新建院重點實驗室的要求，院計財局會同全院四個專業局在現場評審的基礎上又對實驗室進行了綜合評審，葉甜春所長、吳德馨院士、夏洋研究員、劉明研究員等到會進行了答辯。此次參加答辯的院內實驗室共有34個，按三分之一的比例淘汰，競爭激勵，我所實驗室在答辯中表現優異，順利通過綜合評審。

　　微電子器件與集成技術重點實驗室是我所第一個中科院重點實驗室，實驗室升級成功后將繼續整合科研成果，形成一個目標明確、相互促進的有機整體，形成具有自主知識產權的，從材料、工藝到電路和設備應用的完整的微電子創新價值鏈，形成從科學研究、技術創新到工程應用的綜合解決方案，建立微電子工藝技術研制的開放性平臺，提供代表性產品，并取得一批具有自主知識產權的創新性成果。同時，帶動多學科領域的發展，造就一支國際水平的創新團隊，為我國相關領域可持續發展和創新跨越奠定基礎，也為我所人才引進培養、學術交流合作、學風建設作出更大的貢獻。

　　實驗室主任葉甜春研究員向專家介紹實驗室成果之一——常壓等離子體技術