7月18-19日，國家科技重大專項項目“極大規模集成電路制造裝備及成套工藝”（以下簡稱02專項）實施管理辦公室組織專家對“32納米以下設備關鍵技術研究及創新設備技術探索”項目進行了驗收。02專項總體組技術副總師王曦院士，中科院微電子所所長葉甜春、副所長劉新宇等出席了會議，專家組成員、項目相關科研和管理人員共70余人參加了驗收會。 

　　該項目由中科院微電子所牽頭，合作單位包括清華大學、中科院光電技術研究所、無錫華瑛微電子技術有限公司等，主要進行新原理設備研發工作，取得了如下成果：研制了8臺原理樣機；開發了與新原理設備相適應的配套工藝，包括超淺結制造注入工藝，超淺摻雜退火工藝，高K柵介質制作技術，無損傷、高效、低排放、節水清洗工藝，超精細和低損傷刻蝕工藝，無掩模光刻技術工藝，超臨界化學清洗工藝及常壓等離子體去膠工藝等關鍵工藝；建立了32納米關鍵技術及創新設備試驗平臺，面向社會開展了技術共享和服務；申請專利302項，其中國內發明專利259項（授權77項）、實用新型專利12項、外觀專利12項、國際專利19項，計算機軟件登記7項；翻譯著作1部；獲得北京市科學技術獎2項。 

　　驗收會上，專家組認真聽取了項目和課題負責人關于項目完成情況的匯報，現場審閱了科研、財務等驗收材料，實地考察了項目研發平臺。經過充分討論、質詢和評議，專家組對項目取得的研究成果給予高度評價，一致認為該項目驗收文檔齊全，各項功能和指標均達到項目任務書要求，同意通過項目驗收。

驗收會現場

實地考察項目研發平臺