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國家重大科研儀器研制項目啟動會在微電子所召開
3月17日，國家重大科研儀器研制項目“二維電子材料及納米量子器件的研究和原位分析儀器”啟動會在微電子所召開。國家自然科學基金委副主任高文，信息學部主任柴天佑院士，項目專家組組長、中科院半導體所所長李樹深院士，中科院條財局副局長曹凝，中科院微電子所副所長劉新宇，中科院微電子所吳德馨院士出席會議。國家自然科學基金委相關(guān)領(lǐng)導、項目專家組成員、項目科研及管理人員共60余人參加了會議。會議由國家自然科學基金委信息科學部常務副主任秦玉文主持。
國家重大科研儀器研制項目“二維電子材料及納米量子器件的研究和原位分析儀器”由中科院微電子所牽頭，北京大學、中山大學、復旦大學、浙江大學、中科院半導體所聯(lián)合承擔。
劉新宇副所長代表所領(lǐng)導班子對與會領(lǐng)導和專家表示熱烈歡迎。微電子所八室主任夏洋等項目及課題負責人從二維電子材料及納米量子器件的研究和原位分析儀器，二維材料的物理性質(zhì)及納米電子器件的理論模擬，二維半導體與絕緣體、金屬的界面研究與原位分析，高性能、可器件化的ZnO半導體材料制備，石墨烯生長及原位拉曼表征平臺研發(fā)，碳基納米電子器件研究和E-PEALD/SPM/R儀器系統(tǒng)集成七個方面匯報了項目的進展情況、研制內(nèi)容、研制計劃和研制難點。與會專家認真聽取匯報，建議項目組在做好科研工作的同時，要注重技術(shù)轉(zhuǎn)移轉(zhuǎn)化，提升產(chǎn)品的實用性，并針對項目可能存在的困難和問題提出了寶貴的意見和建議。
會后，與會領(lǐng)導、專家在劉新宇、夏洋的陪同下實地參觀了微電子設(shè)備工藝研發(fā)實驗平臺和凈化工藝線。
會議現(xiàn)場
參觀微電子設(shè)備工藝研發(fā)實驗平臺
與會人員合影