成果展示
國家科技重大專項02專項“22納米關(guān)鍵工藝技術(shù)先導研究與平臺建設(shè)”項目順利通過專家驗收
12月13—14日，國家科技重大專項02專項實施管理辦公室組織專家對“22納米關(guān)鍵工藝技術(shù)先導研究與平臺建設(shè)”項目進行了現(xiàn)場驗收。該項目由國家科技重大專項02專項集成電路先導工藝研發(fā)中心承擔，成員包括中科院微電子所、中科院上海微系統(tǒng)所、清華大學、北京大學、復旦大學等單位。
項目研究團隊首次在國內(nèi)針對集成電路先導工藝技術(shù)組織產(chǎn)學研聯(lián)盟并開展聯(lián)合攻關(guān)，經(jīng)過五年的努力，完成了任務(wù)合同書的全部考核指標和研究內(nèi)容，在高K/金屬柵、新器件結(jié)構(gòu)、溝道工程、源漏工程和互連等若干關(guān)鍵技術(shù)及工藝模塊上取得了一系列具有自主知識產(chǎn)權(quán)的重大技術(shù)創(chuàng)新成果：第一，實現(xiàn)了我國集成電路先導技術(shù)研發(fā)從90納米到22納米技術(shù)代的跨越，研究水平邁入世界先進主流；第二，提出了“專利指導下的研發(fā)戰(zhàn)略”，面向22-14納米技術(shù)代形成了較為系統(tǒng)的知識產(chǎn)權(quán)布局，共完成專利申請1656項，其中美國專利申請501項；第三，實現(xiàn)了部分專利成果向國內(nèi)大型集成電路制造企業(yè)的許可轉(zhuǎn)讓（共計1221項），現(xiàn)已進入產(chǎn)業(yè)化開發(fā)階段；第四，建立了面向22納米及以下技術(shù)代的先導技術(shù)研發(fā)公共平臺和產(chǎn)學研聯(lián)合攻關(guān)組織平臺，有效地為相關(guān)企業(yè)、科研院所及高校提供了開放服務(wù)，已逐漸成為產(chǎn)學研開放合作基地；第五，引進海外學術(shù)帶頭人21人，形成了一支國際化的高水平研發(fā)隊伍。
驗收專家組由產(chǎn)學研用各領(lǐng)域知名專家組成。驗收會上，專家組認真聽取了各項目（課題）負責人關(guān)于項目（課題）完成情況的匯報、用戶代表中芯國際集成電路制造有限公司對項目成果驗證情況的報告和中科院監(jiān)理部對項目監(jiān)理情況的報告，審閱了驗收材料。經(jīng)過充分討論、質(zhì)詢和評議，專家組對項目取得的研究成果給予高度評價，認為該項目的研究成果，為22-14納米技術(shù)代工業(yè)化二次開發(fā)積累了關(guān)鍵核心技術(shù)，為后續(xù)16納米及以下技術(shù)代（包括10納米、7納米等）的基礎(chǔ)技術(shù)研發(fā)奠定了堅實基礎(chǔ)，一致同意該項目通過驗收。
該項目的實施，顯著提升了我國在集成電路制造工藝方面的當前及后續(xù)研發(fā)能力，為我國集成電路產(chǎn)業(yè)的自主創(chuàng)新和可持續(xù)發(fā)展奠定了堅實的基礎(chǔ)。
驗收會現(xiàn)場