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北京市科技計(jì)劃項(xiàng)目“三維封裝鍵合與深孔刻蝕裝備研發(fā)”通過驗(yàn)收
3月27日，由中國科學(xué)院微電子研究所和北京泰龍電子技術(shù)有限公司共同承擔(dān)的“三維封裝鍵合與深孔刻蝕裝備研發(fā)”項(xiàng)目通過驗(yàn)收。北京市科委電子信息與裝備處處長(zhǎng)萬榮出席驗(yàn)收會(huì)并調(diào)研了微電子所。
該項(xiàng)目下設(shè)多場(chǎng)耦合三維封裝鍵合機(jī)研發(fā)和三維封裝反應(yīng)平衡深孔刻蝕系統(tǒng)研發(fā)兩個(gè)課題，針對(duì)下一代微電子封裝產(chǎn)業(yè)發(fā)展的需求，進(jìn)行核心制造裝備研發(fā)，突破了多場(chǎng)耦合下的低溫鍵合技術(shù)和平滑陡直硅深孔刻蝕技術(shù)。完成兩臺(tái)系統(tǒng)樣機(jī)和配套工藝，為后續(xù)的設(shè)備產(chǎn)業(yè)化積累了核心技術(shù)。驗(yàn)收中，按照北京市科委項(xiàng)目驗(yàn)收的程序要求，進(jìn)行了完成情況匯報(bào)、專家提問、報(bào)告人答疑、討論和宣讀驗(yàn)收意見等程序。最終，驗(yàn)收專家組對(duì)該項(xiàng)目的實(shí)施表示了充分肯定，一致同意通過驗(yàn)收。
與會(huì)專家和領(lǐng)導(dǎo)在總結(jié)中指出，建議該項(xiàng)目在技術(shù)突破后，要在實(shí)際的微電子生產(chǎn)線上試用，使產(chǎn)出的成果在產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用上真正發(fā)揮重要的作用，針對(duì)工業(yè)需求和具體情況進(jìn)一步推廣并加快產(chǎn)業(yè)化速度，做好樣機(jī)商品化工作，在科技服務(wù)和為北京市地方經(jīng)濟(jì)發(fā)展做出貢獻(xiàn)。
驗(yàn)收會(huì)現(xiàn)場(chǎng)