10月21日至23日，一年一度的中國國際半導體博覽會暨高峰論壇（IC CHINA 2010）在蘇州國際博覽中心隆重舉行。本屆展會專門開辟了02專項成果展區，八室由夏洋主任親自帶隊，攜三臺先進設備參展，在向業界展示微電子所在微電子設備領域的雄厚科研實力的同時，也充分顯示了我們以高質量完成02專項科研任務的堅定信心。

　　在本屆展會上，八室的展位處于02專項展區的入口位置，與東京精密、華潤微電子、愛發科等業界知名企業毗鄰，備受關注。展會期間，八室集中展示了KE-320型高密度等離子體刻蝕機、KD-200A型原子層沉積系統、動態薄層清洗設備等最新的科研成果，新穎別致的展臺、豐富多樣的展品吸引了大量觀眾駐足參觀。工業和信息化部副部長楊學山、中國半導體行業協會理事長江上舟、微電子所所長葉甜春等領導和專家先后蒞臨八室展位參觀指導。夏洋主任和劉訓春研究員向有關領導同志詳細匯報了八室在微電子設備研發領域取得的成就和02專項項目的完成情況，得到了一致好評。楊學山副部長在聽取匯報后，對微電子所在這一領域取得的豐碩成果表示贊賞，并鼓勵大家要再接再厲，為推動我國在微電子設備制造領域的不斷發展再立新功。葉甜春所長在參觀了八室展位并聽取匯報后，對八室的工作給予了充分肯定。

　　在展會期間，還同期舉辦了以“合作創新、整合優化、持續發展”為主題的高峰論壇，為廣大業內人士搭建了相互交流、相互學習、相互合作的良好平臺。本屆展會由國家工業和信息化部、科技部、江蘇省人民政府作為指導單位，中國半導體行業協會、中國國際貿易促進委員會電子信息行業分會、蘇州市人民政府主辦，共計240余家廠商攜產品參與了展示活動。

八室展位

夏洋主任向工信部楊學山副部長（右）介紹參展設備的情況

夏洋主任（左）、劉訓春研究員（右一）向葉甜春所長（中）

介紹KE-320型高密度等離子體刻蝕機

　　02項目專家與微電子所參會人員合影留念