6月24日，中國科學院微電子研究所承擔的重大專項納米制造相關課題在四川綿陽順利通過驗收。

　　課題行政負責人、科技處熊偉副處長，財務處陳音處長、技術負責人謝常青研究員、課題負責人朱效立博士參加了此次驗收工作。課題驗收分別由技術驗收組、檔案驗收組和財務驗收組按照重大專項驗收要求分別審查，總驗收分數取三個驗收項的最低值，若有一項不合格，驗收即為不合格。朱效立博士對項目進行了認真地匯報和答辯。經過仔細質詢和認真討論，最終專家組以不記名投票的形式一致給予了該課題全優分數通過，成為了少數幾個一致通過驗收的課題之一。

　　微電子所是國內最早開展亞微米微細加工技術研究的單位，在深亞微米微細加工技術及微光刻技術方面一直保持國內領先地位和自主創新的特色。三十年前，陳夢真、陳寶欽等老一輩科學家積累了光學元件研究所必需的工作基礎，之后經過葉甜春研究員等人的不懈努力，解決了一些長期發展和應用的技術難題，研究工作取得極大進展。近年來，研究所積極面向國家重大工程需求，建立了由朱效立博士等人組成的第三代光學元件研究團隊，順利向多項國家重大工程提供優質的關鍵元器件，取得了完全自主知識產權。三十年的努力為光學元件的研制打下了雄厚的技術基礎，打造了一支團結創新的團隊。

　　課題年度工作圓滿完成，得益于我所職能部門和研究室創新文化建設不斷取得進展。科技處熊偉副處長從課題立項、進度節點、用戶溝通、驗收總結等方面全力介入課題工作，陳音處長不僅從課題經費預算方面給予具體指導意見，還親自制作課題決算報告，檔案和資產部門對課題檔案、設備購買均予以大力支持。三室主任劉明研究員對課題工作予以高度重視，多次親自就相關技術予以指導。電子束光刻課題組陳寶欽研究員、牛潔斌工程師等同志為此課題的完成更是忘我工作和不懈努力。

　　課題工作還得到了國家同步輻射實驗室和北京正負電子對撞機國家實驗室的大力技術支持。