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成果展示

“新原理設備關鍵技術研究及創新設備技術探索”項目啟動

  日前,國家重大專項“新原理設備關鍵技術研究及創新設備技術探索”項目啟動大會在微電子所召開。所長葉甜春以及該項目參與人員出席了會議。會議由項目負責人、微電子所微電子設備技術研究室主任夏洋主持。 

  會上,夏洋主任首先回顧了“新原理設備關鍵技術研究及創新設備技術探索”項目的整個立項過程。指出該項目的目標是針對微電子新結構器件、工藝技術的發展和新材料的應用研究新原理設備,為我國獲得自主知識產權以及和企業相結合研究新原理設備產業化方案進行產業化基地建設,為我國研究機構提供實驗型系列新原理微電子設備。 

  葉甜春所長講話時強調,重大科研專項是國家任務,參與人員組成的是一支國家隊,肩負著重任。他要求項目組第一要格外重視知識產權問題,做好專利搜索、進行知識產權分析。第二要把工作重心放在工藝研究和設備的創新原理研發上,不要急于做設備的自動化,設備集成工作可借助有經驗的單位;第三要建立良好的例會制度,加強溝通交流;第四要簽訂內部技術保密協議,確保信息安全;第五要注重人才隊伍建設,要引進對工藝和需求研究有造詣的海外人才;第六要提前制訂工作計劃,調動各方資源,迎接好每一階段的驗收。 

  此外,該項目各子課題負責人還分別就項目中所涉及設備的國內外最新進展情況、課題組的設計方案、工作進展和工作計劃等問題做了報告并與在座專家進行了討論。會上,夏洋主任對各課題負責人的報告進行了總結,對未來工作進行了具體部署,并為建立規范化的管理體系問題提出了實施方案。 

  項目啟動大會的召開,為所有項目組成員進一步明確了工作方向和工作目標,為成員間的溝通交流提供了良好契機,為促進該重大專項的順利開展起到了積極作用。   

  項目啟動會