6月30日,北京科技大學材料科學與工程學院納米材料與技術專業(yè)的30余名大二學生來到微電子所參觀實習。
同學們首先聽取了微電子儀器設備研發(fā)中心副研究員解婧關于集成電路制造工藝與設備的精彩講解。解婧從集成電路的行業(yè)背景、微電子工藝及設備的技術、科研型設備產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀分析等方面,介紹了集成電路行業(yè)的專業(yè)知識以及未來的發(fā)展前景。她指出,作為技術制造業(yè)的最高端,集成電路產(chǎn)業(yè)正在不斷改善人類的生活,強大的集成電路裝備正是集成電路發(fā)展的重要基石。她介紹了微電子儀器設備研發(fā)中心自行研發(fā)生產(chǎn)的刻蝕機、等離子體化學沉積設備、原子層沉積設備和物理濺射沉積設備的工作原理、創(chuàng)新技術及其產(chǎn)業(yè)應用。報告會后,同學們分別參觀了微納加工平臺、集成電路先導工藝研發(fā)平臺,觀看了工作人員的演示操作,對不同類型的微電子設備及操作原理有了一定了解。
納米材料與集成電路發(fā)展密不可分。本次活動對于在校學生是一次難得的實踐機會,同學們將所學所見相結合,通過與一線科研人員的交流,加深了對書本知識的理解,有助于專業(yè)知識的學習。
報告現(xiàn)場
參觀工藝線
綜合信息