因應(yīng)先進半導(dǎo)體制程對潔凈度、可靠度愈來愈嚴苛的要求,Heateflex近期推出新型HC管線用投入式加熱器,以及輸入歧管可360度旋轉(zhuǎn)的液體加熱器/混合器。此兩款產(chǎn)品體積小并完全采用鐵氟龍(PFA)浸濕表面,能使液體于最短時間內(nèi)達到設(shè)定溫度,且讓溫度均勻分布。
Heateflex總裁暨執(zhí)行長JorgeRamirez表示,此兩款產(chǎn)品體積精巧,為該公司超高純度加熱設(shè)備產(chǎn)品線的新成員,可滿足半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的復(fù)雜需求,包括高可靠性與制程純凈度。
據(jù)了解,新型HC管線用加熱器包含特殊的內(nèi)部裝置而毋須使用封膠,可增加產(chǎn)品可靠度。加熱管上的頂焊管帽可取代O型環(huán),防止可能的微粒污染。此加熱器的核心為輕量、全PFA浸水面的特制加熱線圈。此專利加熱元件可對制程需求快速反應(yīng),輕量的特性讓加熱器能均勻?qū)幔诙虝r間內(nèi)達到設(shè)定的溫度。新型HC管線用加熱器提供各種規(guī)格,輸出范圍為2~10kW,使用電壓范圍為120~480V。
另一方面,新型HC管線用加熱器/混合器,將混合功能與一般管線用加熱器的功能與優(yōu)點結(jié)合,精巧體積可加熱并混合液體,適用于小空間廠房使用。混合器能以不同的流動速率混合最多三種不同液體,而內(nèi)部擋板與加熱元件的結(jié)合能將液體均勻混合并加熱后輸出。HC加熱器/混合器的輸入歧管可360度旋轉(zhuǎn),可滿足特殊的配管需求,并以垂直或水平的安裝方式節(jié)省空間。
(來源:新電子 2015年9月9日)
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