市民生活中離不開的手機上，都有一塊小小的集成電路芯片。芯片上面各種各樣的紋路，就是由刻蝕機刻出來的。記者日前從北京電控了解到，由其下屬企業北方微電子公司自主研發的12英寸28納米等離子硅刻蝕機，已經全面通過工藝驗證。我國集成電路高端裝備進一步加快了追趕國際水平的腳步，技術水平已經從2003年的“20年差距”縮短到“只差3年”。
28納米，相當于人體一根頭發的萬分之一粗細。生產一塊手機使用的電子芯片，一般需要18種機器設備、累計400多道工序，而刻蝕機就是其中的重要設備之一。
去年年末，北方微電子公司自主研發的這款12英寸28納米等離子硅刻蝕機，全面通過中芯國際生產線全流程工藝驗證，并獲得客戶訂單，標志著中國集成電路高端裝備國產化取得新的突破。
在北方微電子公司突破28納米刻蝕技術前，國際上也僅美國和日本各有一家企業能夠提供滿足28納米生產線的成熟設備。長期以來，高端刻蝕設備一直是制約我國集成電路產業發展的瓶頸，因此，北方微電子將28納米硅刻蝕設備推向市場，標志著我國在高端集成電路裝備領域，第一次實現與主流生產線的需求同步。
（來源：新浪科技 2014年9月9日）
綜合信息