一、項(xiàng)目名稱 

　　顆粒清洗機(jī)改造項(xiàng)目。 

　　二、單一來源采購理由說明 

　　中科院先導(dǎo)C 825項(xiàng)目對(duì)晶圓表面顆粒、金屬離子沾污均提出了很高的清洗要求。微電子所購置的單片清洗機(jī)（設(shè)備型號(hào)：SPVII（Ultra C SAPS 230））已使用近10年，且本臺(tái)設(shè)備不具備顆粒清洗與金屬離子沾污清洗能力。因此，亟需對(duì)這臺(tái)設(shè)備進(jìn)行針對(duì)性的升級(jí)，改造成顆粒清洗機(jī)。 

　　在原單片清洗機(jī)硬件基礎(chǔ)上，升級(jí)顆粒清洗系統(tǒng)兩套，使晶圓表面經(jīng)過清洗后，能實(shí)現(xiàn)硅片表面60nm以上顆粒數(shù)<150個(gè)（切后8英寸硅片110nm顆粒<3000個(gè)）的指標(biāo)要求。方案如下：系統(tǒng)1通過增加交變相位移兆聲波（megapie）機(jī)構(gòu)裝置及配套零部件、主機(jī)臺(tái)外操作面增加FFU（風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組）等手段提升設(shè)備的顆粒清洗能力；系統(tǒng)2通過加裝化學(xué)液循環(huán)槽、升級(jí)不同路化學(xué)液控制系統(tǒng)及更換部分老舊管路來提高金屬離子沾污的清洗能力。 

　　本臺(tái)單片清洗機(jī)制造廠商為盛美半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司。該公司在顆粒清洗方面具有領(lǐng)先的技術(shù)實(shí)力，其12吋清洗設(shè)備已在中芯國(guó)際、長(zhǎng)江存儲(chǔ)、合肥長(zhǎng)鑫、韓國(guó)海力士等大型制造廠使用，是國(guó)內(nèi)單片清洗設(shè)備的頭部企業(yè)。由于盛美半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司擁有本臺(tái)單片清洗機(jī)詳細(xì)的制造數(shù)據(jù)和升級(jí)改造經(jīng)驗(yàn)，可以更好的完成升級(jí)改造工作，故本臺(tái)單片清洗機(jī)的升級(jí)改造服務(wù)項(xiàng)目擬采用單一來源采購方式，由盛美半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司提供。 

　　供應(yīng)商：盛美半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司。公司地址：中國(guó)（上海）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)蔡倫路1690號(hào)第4幢。 

　　三、該次升級(jí)改造服務(wù)項(xiàng)目擬從盛美半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司采購。 

　　四、征求意見期限從2021年9月22日至2021年9月28日止。 

　　本項(xiàng)目公示期為2021年9月22日至2021年9月28日。有關(guān)單位和個(gè)人如對(duì)公示內(nèi)容有異議，請(qǐng)?jiān)?/span>2021年9月28日17:00（北京時(shí)間）之前以實(shí)名書面（包括聯(lián)系人、地址、聯(lián)系電話）形式反饋至中國(guó)科學(xué)院微電子研究所質(zhì)量處，地址：北京朝陽區(qū)北土城西路3號(hào)，郵編：100029，聯(lián)系電話：82995527。 

                                                                                                                                中國(guó)科學(xué)院微電子研究所 

　　                                                                                                                                2021年9月18日