一、項(xiàng)目名稱 

　　20210601-20240531 三年期 JBX 6300FS電子束光刻系統(tǒng)維修保養(yǎng)服務(wù)項(xiàng)目。 

　　二、單一來(lái)源采購(gòu)理由說(shuō)明 

　　為滿足國(guó)家重大科技攻關(guān)項(xiàng)目中主要特征尺寸均在亞50納米至亞10納米的器件和電路研究的需求，微電子所引進(jìn)了一套日本JEOL公司的JBX-6300FS納米直寫電子束光刻系統(tǒng)。該系統(tǒng)采用熱場(chǎng)發(fā)射、100KV加速電壓、最小電子束束斑為2~3納米，極限加工能力為5~10納米。由于該JBX 6300FS納米電子束光刻系統(tǒng)是目前國(guó)際上精度最高的納米加工技術(shù)裝備，每年都需要進(jìn)行電子光學(xué)系統(tǒng)的維護(hù)、保養(yǎng)和更換電子槍（即電子束發(fā)射源，俗稱燈絲）。 

　　該JBX 6300FS納米電子束光刻系統(tǒng)是非常精密的大型儀器設(shè)備，世界上僅有少數(shù)幾家能夠生產(chǎn)，而且所生產(chǎn)的納米電子束光刻系統(tǒng)結(jié)構(gòu)和配置都不一樣，沒(méi)有互換性，所有這些廠家的電子束光刻系統(tǒng)的維護(hù)、保養(yǎng)和更換電子槍的服務(wù)只能由原廠指定的專門維修服務(wù)公司承接，其它任何有能力生產(chǎn)電子束光刻系統(tǒng)的廠家也不可能承接別的廠家所生產(chǎn)的電子束光刻設(shè)備的維修業(yè)務(wù)，所以納米直寫電子束光刻系統(tǒng)的維護(hù)、保養(yǎng)和更換電子槍等服務(wù)項(xiàng)目只能采用單一來(lái)源采購(gòu)方式。 

　　該JBX 6300FS納米電子束光刻系統(tǒng)制造商為：JEOL Ltd.（日本電子），其在中國(guó)區(qū)銷售與售后服務(wù)公司設(shè)在上海，服務(wù)公司名稱：捷伊歐半導(dǎo)體貿(mào)易（上海）有限公司。 

　　三、該項(xiàng)目擬從捷伊歐半導(dǎo)體貿(mào)易（上海）有限公司采購(gòu)。 

　　四、征求意見(jiàn)期限從2021年4月25日至2021年4月29日止。 

　　本項(xiàng)目公示期為2021年4月25日至2021年4月29日。有關(guān)單位和個(gè)人如對(duì)公示內(nèi)容有異議，請(qǐng)?jiān)?/font>2021年4月29日17:00（北京時(shí)間）之前以實(shí)名書面（包括聯(lián)系人、地址、聯(lián)系電話）形式反饋至中國(guó)科學(xué)院微電子研究所質(zhì)量處，地址：北京朝陽(yáng)區(qū)北土城西路3號(hào)，郵編：100029，聯(lián)系電話：82995527。