一、項目名稱 

　　真空腔體定制開發(fā)技術(shù)服務(wù) 

　　二、單一來源采購理由說明 

　　中國科學(xué)院微電子研究所承擔(dān)的 “EUV光刻機(jī)離軸對焦技術(shù)研究與部件開發(fā)” 課題的主要研究任務(wù)為研制真空環(huán)境下的調(diào)焦調(diào)平原理樣機(jī)。 

　　在原理樣機(jī)研制過程中，需要真空兼容的宏動臺承載樣品進(jìn)行精密運(yùn)動，同時需要定制真空腔體一套，以滿足宏動臺的驗證測試，進(jìn)而完成調(diào)焦調(diào)平原理樣機(jī)的驗證測試。真空腔體需要集成精密的隔振系統(tǒng)、溫控系統(tǒng)、運(yùn)動臺，以滿足EUV光刻機(jī)對焦部件的測試，因此需要真空腔體定制開發(fā)技術(shù)服務(wù)。 

　　為保障按期順利完成項目指標(biāo)，中國科學(xué)院微電子研究所委托中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所承擔(dān)真空腔體定制開發(fā)技術(shù)服務(wù)。中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所具有開發(fā)研制：真空度優(yōu)于1×10-5Pa，直徑大于2米的真空腔體；隔振指標(biāo)為XY方向9Hz~500Hz時，傳遞率優(yōu)于-30db，Z方向20Hz~500Hz時，傳遞率優(yōu)于-30db的隔振系統(tǒng)；溫控精度優(yōu)于0.05℃@1hour的溫控系統(tǒng)及整體集成和調(diào)試的能力和經(jīng)驗，并完成了多項真空相關(guān)光刻研發(fā)項目。 

　　綜上所述，中國科學(xué)院微電子所委托中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所進(jìn)行真空腔體定制開發(fā)技術(shù)服務(wù)，且為單一來源采購。 

　   三、該項目擬委托中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所提供技術(shù)服務(wù)。 

　   四、征求意見期擬從2019年9月16日至2019年9月20日止。 

　　本項目公示期為2019年9月16日至2019年9月20日。有關(guān)單位和個人如對公示內(nèi)容有異議，請在2019年9月20日15:00（北京時間）之前以實(shí)名書面（包括聯(lián)系人、地址、聯(lián)系電話）形式反饋至中國科學(xué)院微電子研究所，地址：北京朝陽區(qū)北土城西路3號，郵編：100029，聯(lián)系電話：82995706。 

                                                                                               中國科學(xué)院微電子研究所 

                                                                                              2019年9月16日