一、項(xiàng)目名稱 

　　中國(guó)科學(xué)院微電子研究所 JBX-6300FS系統(tǒng)升級(jí)改造技術(shù)服務(wù) 

　　二、單一來(lái)源采購(gòu)理由說(shuō)明 

　　我所在研的“X射線衍射光譜與成像納米器件集成制造”課題主要研究X射線衍射光譜與成像納米器件集成制造。該課題需采用電子束光刻、X射線光刻和微電鍍技術(shù)制作X射線衍射光譜與成像納米器件。而電子束光刻和X射線光刻掩模則需要依賴中國(guó)科學(xué)院微電子研究所原有的大型JEOL JBX-6300FS電子束光刻系統(tǒng)，是必不可少的。但是，該大型電子束光刻系統(tǒng)的副掃描器僅為12.5MHz，且位置偏轉(zhuǎn)數(shù)模放大器和控制中央處理器性能較差，不能滿足該課題的需求，需要將其升級(jí)改造。 

　　捷伊歐（JEOL）半導(dǎo)體貿(mào)易（上海）有限公司是我所JEOL JBX-6300FS電子束光刻系統(tǒng)生產(chǎn)廠商在中國(guó)的唯一國(guó)內(nèi)代理商，因此只能采用單一來(lái)源方式采購(gòu)。 

　　三、該項(xiàng)目擬從捷伊歐（JEOL）半導(dǎo)體貿(mào)易（上海）有限公司進(jìn)行采購(gòu)。 

　　四、征求意見(jiàn)期限從2018年12月3日至2018年12月7日止。 

　　本項(xiàng)目公示期為2018年12月3日至2018年12月7日。有關(guān)單位和個(gè)人如對(duì)公示內(nèi)容有異議，請(qǐng)?jiān)?/font>2018年12月7日15:00（北京時(shí)間）之前以實(shí)名書面（包括聯(lián)系人、地址、聯(lián)系電話）形式反饋至中國(guó)科學(xué)院微電子研究所，地址：北京朝陽(yáng)區(qū)北土城西路3號(hào)，郵編：100029，聯(lián)系電話：82995706。  

                                                                                                                        中國(guó)科學(xué)院微電子研究所 

　　                                                                                                                            2018.12.3