一、項目名稱 

　　20180601-20210531 三年期JBX6300FS電子束光刻系統(tǒng)維修保養(yǎng)服務(wù)項目。 

　　二、單一來源采購理由說明 

　　JBX-6300FS納米直寫電子束光刻系統(tǒng)自引進以來為微電子所承擔(dān)的國家科技攻關(guān)項目課題的順利完成、獲得多項國家發(fā)明獎和北京市科學(xué)進步獎的科研工作中做出了重要貢獻。為保證系統(tǒng)正常運行和納米級直寫的精度要求，需要對整個系統(tǒng)進行維護、保養(yǎng)和更換電子槍等技術(shù)服務(wù)，由于電子束光刻系統(tǒng)是目前國際應(yīng)用于納米科技的尖端設(shè)備，在世界上也只有少數(shù)幾個廠家能夠制造，而且每家生產(chǎn)的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)都不一樣，沒有互換性，所以維護、保養(yǎng)和更換電子槍等技術(shù)服務(wù)只能依靠原制造廠商及其具有代理資格服務(wù)公司承擔(dān)。我所引進的 JBX 6300FS電子束光刻系統(tǒng)是日本JEOL公司生產(chǎn)的，該公司在上海設(shè)有一個半導(dǎo)體裝備銷售和售后服務(wù)的公司“捷伊歐半導(dǎo)體貿(mào)易（上海）有限公司”，是國內(nèi)唯一一家具備承接JBX 6300FS電子束光刻系統(tǒng)維護、保養(yǎng)和更換電子槍等技術(shù)服務(wù)。所以納米直寫電子束光刻系統(tǒng)的維護、保養(yǎng)和更換電子槍等服務(wù)項目只能采用單一采購方式。 

　　三、該項目擬由捷伊歐半導(dǎo)體貿(mào)易（上海）有限公司提供（或承擔(dān)）。 

　　四、征求意見期擬從2017年9 月7 日至2017年9月14 日止。 

　　本項目公示期為2017年 9月7日至2017年9 月14日。有關(guān)單位和個人如對公示內(nèi)容有異議，請在2017年9月14 日15:00（北京時間）之前以實名書面（包括聯(lián)系人、地址、聯(lián)系電話）形式反饋至中國科學(xué)院微電子研究所，地址：北京朝陽區(qū)北土城西路3號，郵編：100029，聯(lián)系電話：82995706，聯(lián)系人：羅納。 

                                               　                                         中國科學(xué)院微電子研究所 

　　                                                                                           2017年9月7日