一、項(xiàng)目名稱 

　　中國(guó)科學(xué)院科技服務(wù)網(wǎng)絡(luò)計(jì)劃（STS）課題 　　  

　　二、單一來(lái)源采購(gòu)理由說(shuō)明 

　　中國(guó)科學(xué)院微電子研究所承擔(dān)的中國(guó)科學(xué)院科技服務(wù)網(wǎng)絡(luò)計(jì)劃（STS）課題“碳化硅電力電子器件產(chǎn)品研發(fā)與應(yīng)用驗(yàn)證”課題旨在開展碳化硅電力電子器件產(chǎn)品技術(shù)和模塊應(yīng)用技術(shù)開發(fā)，具有很高的實(shí)用價(jià)值。 　　  

　　此項(xiàng)目需完成碳化硅電力電子器件的流片加工測(cè)試,但目前國(guó)內(nèi)尚無(wú)完整工藝平臺(tái),初期流片驗(yàn)證是在多個(gè)工藝平臺(tái)完成，工藝交接環(huán)節(jié)帶來(lái)不可避免的污染，造成良率很低并且無(wú)法實(shí)現(xiàn)大芯片制備，不能實(shí)現(xiàn)項(xiàng)目指標(biāo)。　　  

　　為順利完成項(xiàng)目指標(biāo)，中國(guó)科學(xué)院微電子研究所委托德國(guó)弗朗霍夫研究所進(jìn)行芯片加工服務(wù),其工藝平臺(tái)各項(xiàng)指標(biāo)滿足本項(xiàng)目的需求，工藝穩(wěn)定可靠，滿足我方流片需求,能夠有效降低本項(xiàng)目芯片的流片外協(xié)風(fēng)險(xiǎn)。目前只有該單位具備本項(xiàng)目芯片流片的要求。 　　  

　　三、該項(xiàng)目擬從德國(guó)弗朗霍夫研究所進(jìn)行流片。 

　　四、征求意見(jiàn)期擬從2017年6月14日至2017年6月20日止。 

　　本項(xiàng)目公示期為2017年6月14日至2017年6月20日。有關(guān)單位和個(gè)人如對(duì)公示內(nèi)容有異議，請(qǐng)?jiān)?017年6月20日15:00（北京時(shí)間）之前以實(shí)名書面（包括聯(lián)系人、地址、聯(lián)系電話）形式反饋至中國(guó)科學(xué)院微電子研究所，地址：北京朝陽(yáng)區(qū)北土城西路3號(hào)，郵編：100029，聯(lián)系電話：82995706。 

　　中國(guó)科學(xué)院微電子研究所 

　　2017.6.13