“22-14納米集成電路器件工藝先導技術”榮獲2017年度國家技術發明二等獎

　　國家科學技術獎勵大會于2018年1月8日上午在北京人民大會堂隆重舉行。微電子所與武漢新芯集成電路制造有限公司、復旦大學共同完成的“22-14納米集成電路器件工藝先導技術”項目獲得2017年國家技術發明二等獎。 

　　“22-14納米集成電路器件工藝先導技術”項目主要完成人為葉甜春、徐秋霞、陳大鵬、殷華湘、霍宗亮、張衛。項目以國家科技重大專項02專項支持為契機，針對核心器件微縮過程中的一系列關鍵性的短溝道效應和性能挑戰，開展了自主創新研發，攻克了后高k金屬柵、22納米平面器件集成技術、14納米三維FinFET關鍵技術等技術難關，創新發明多項關鍵技術，突破了納米集成電路制造及國產裝備配套工藝過程中的重要技術瓶頸。項目提出了“專利導向下的研發戰略”，形成了成體系的自主知識產權和關鍵技術，在國內外產生廣泛影響。在推廣應用方面，成功完成向國內相關制造及裝備企業的許可和轉讓，取得顯著成效，有力提升了相關集成電路高端產品和先進裝備的技術水平，對我國集成電路行業全面發展具有重要推動作用。