5月20日，第四屆“中國科學(xué)院微電子研究所科技開放日”在微電子所舉行。來自國內(nèi)外業(yè)界企業(yè)、高校、科研機構(gòu)和合作單位的400余人參加了活動。 

　　本屆開放日以“后摩爾時代的微電子技術(shù)創(chuàng)新及未來發(fā)展”為主題，設(shè)置了主題報告、成果發(fā)布會與交流、實物與展板展示、實驗室參觀等活動，旨在進一步促進產(chǎn)業(yè)鏈、創(chuàng)新鏈、金融鏈的“無縫融合”。 

　　開幕式上，微電子所所長葉甜春代表研究所向參訪者的到來表示熱烈歡迎。他指出，科技開放日是微電子所的特色品牌活動，已成功舉辦了三屆，向業(yè)界展現(xiàn)了研究所的創(chuàng)新成果，加強了同國內(nèi)外企業(yè)、高校和科研機構(gòu)的深入交流與實質(zhì)性合作，有效促進了科技成果的轉(zhuǎn)化轉(zhuǎn)移。他闡述了集成電路技術(shù)發(fā)展趨勢，分析了集成電路產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀、挑戰(zhàn)及前景，系統(tǒng)介紹了研究所一年來的各項工作進展和科研布局調(diào)整的總體思路、進展情況。他強調(diào)，微電子所將繼續(xù)貫徹“企業(yè)為主體、市場為導(dǎo)向、產(chǎn)學(xué)研結(jié)合”的方針，進一步發(fā)揮國立科研機構(gòu)的創(chuàng)新引領(lǐng)和支撐作用，敞開胸懷、滿懷熱忱地與業(yè)界單位和有志之士開展實質(zhì)合作，為我國集成電路產(chǎn)業(yè)的技術(shù)進步和自主創(chuàng)新做出積極貢獻。  

　　在隨后召開的成果發(fā)布會上，微電子所集成電路先導(dǎo)工藝研發(fā)中心介紹了硅光子平臺和MEMS工藝平臺研發(fā)成果，發(fā)布了平臺對外服務(wù)能力與標(biāo)準(zhǔn)工藝制程。硅光子平臺擁有成套硅光子制造工藝模塊，驗證了包括單模波導(dǎo)Y分支、光交叉器、光柵、探測器和調(diào)制器等系列硅光子器件，是國內(nèi)首個可提供完整硅光子流片的平臺，將改變國內(nèi)硅光子芯片研發(fā)大都在國外流片的局面。MEMS工藝平臺可提供整套針對加速度、陀螺、電容式壓力計、皮拉尼真空計、電場傳感器等器件的標(biāo)準(zhǔn)化加工藝流程，可根據(jù)客戶需求將其中的工藝模塊與其他工藝流程整合，為客戶開發(fā)定制化器件工藝。 

　　在研究所報告專場，由資深研究員和科研骨干帶來的14個專題學(xué)術(shù)報告，向參訪者展示了各研發(fā)中心的科研成果、科研進展和科研規(guī)劃。在對外投資企業(yè)報告專場，20家參股企業(yè)分別介紹了基本情況、產(chǎn)品市場及發(fā)展規(guī)劃。參訪者還現(xiàn)場觀看了研究所專利展示以及各研發(fā)中心科研成果的文字講解、圖片與實物展示，實地參觀了集成電路先導(dǎo)工藝研發(fā)線、新原理裝備工藝線。 

　　本次開放日活動進一步展示了微電子所和對外投資企業(yè)在微電子領(lǐng)域方面取得的技術(shù)創(chuàng)新成果及主要產(chǎn)品，為業(yè)界同仁搭建了增進相互了解、探尋合作機遇、實現(xiàn)互利共贏的開放交流展示平臺。