日前，中國科學(xué)院微電子研究所（簡稱“微電子所”）與世界領(lǐng)先的集成電路晶圓代工企業(yè)之一，中國內(nèi)地規(guī)模最大、技術(shù)最先進(jìn)的集成電路晶圓制造企業(yè)——中芯國際集成電路制造有限公司（簡稱“中芯國際”，紐約證交所股票代碼：SMI，香港聯(lián)交所股票代碼：981）簽訂MEMS研發(fā)代工平臺合作協(xié)議，共同進(jìn)行MEMS傳感器標(biāo)準(zhǔn)工藝開發(fā)，合作打造完整的MEMS產(chǎn)業(yè)鏈。

根據(jù)協(xié)議，微電子所與中芯國際將進(jìn)行深度合作，充分發(fā)揮微電子所在MEMS傳感器設(shè)計(jì)和成套工藝設(shè)計(jì)方面的優(yōu)勢，以及中芯國際在標(biāo)準(zhǔn)化工藝平臺、產(chǎn)業(yè)地位及市場影響力方面的優(yōu)勢，以MEMS環(huán)境傳感器的開發(fā)為牽引，并結(jié)合其他類型MEMS傳感器結(jié)構(gòu)特點(diǎn)，推進(jìn)傳感器工藝技術(shù)的標(biāo)準(zhǔn)化、平臺化和量產(chǎn)化，縮短從設(shè)計(jì)方案到量產(chǎn)產(chǎn)品的距離，促進(jìn)MEMS產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展。

微電子所所長葉甜春參觀了中芯國際MEMS傳感器中段生產(chǎn)線并表示，“通過微電子所和中芯國際的產(chǎn)學(xué)研合作，可以發(fā)揮雙方的優(yōu)勢，共同建設(shè)MEMS公共技術(shù)服務(wù)平臺和電子化MEMS產(chǎn)業(yè)鏈信息整合平臺，集產(chǎn)品設(shè)計(jì)、加工制造、封裝、測試、公共平臺、風(fēng)險(xiǎn)投資為一體，形成產(chǎn)業(yè)鏈上下游關(guān)系的協(xié)同以及公共資源的最大化共享，為全球及中國MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供有力的支撐。”

“中芯國際研發(fā)團(tuán)隊(duì)在傳感器領(lǐng)域持續(xù)開發(fā)新的工藝平臺，引進(jìn)新客戶，取得了很多新的成績。中芯國際愿意開放平臺，支持商業(yè)化生產(chǎn)、學(xué)校和科研院所的研發(fā)。”中芯國際首席執(zhí)行官兼執(zhí)行董事邱慈云博士表示，“中芯國際與微電子所在多個(gè)邏輯工藝開發(fā)項(xiàng)目上已有良好的合作基礎(chǔ)，此次我們將繼續(xù)深入合作，共同推進(jìn)MEMS傳感器的成套標(biāo)準(zhǔn)化工藝開發(fā)，協(xié)助整合并完善MEMS產(chǎn)業(yè)鏈。”

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