工業和信息化部電子信息司安筱鵬副司長一行到微電子所調研

　　11月29日，國家工業和信息化部電子信息司安筱鵬副司長一行到微電子所調研。微電子所副所長陳大鵬，所長助理、中科院EDA中心主任陳嵐，科技處處長王文武，十室主任趙超，閆江，八室副主任陳魯，九室副主任于中堯，研究員陸原等參加了座談會。

　　安筱鵬副司長一行此次調研目的一方面是了解微電子所近年來的發展情況及承擔國家重大科技專項的進展情況，另一方面是實地參觀微電子所工藝線及EDA中心。

　　陳大鵬副所長代表微電子所對安筱鵬副司長一行的到訪表示熱烈歡迎，并作了題為《改革、開放、發展》的報告，全面介紹了微電子所的基本情況及承擔國家重大科技專項的情況。十室主任趙超介紹了先導工藝研發中心的基本情況及承擔的國家科技重大專項02專項“22nm先導工藝研究及平臺建設”的最新科研進展和成效向安司長做了匯報。他指出，先導工藝研發中心自成立以來采用知識產權引導下的科研戰略，依托及中心擁有的完整的8英寸研發線，在02專項的推動下，先導工藝平臺目前已成為國產設備和材料的工藝開發和機臺驗證的重要基地。九室副主任于中堯介紹了微電子所系統封裝研究室目前從事的針對后摩爾時代集成電路向三維集成技術發展情況，以及對電子系統小型化、多功能、高性能、高可靠、低成本、低能耗的需求和研究室所開展的三維集成技術、系統級封裝、高密度封裝等關鍵技術的研發情況，并重點介紹了封裝設計仿真工具、基板實驗線、微組裝實驗線、測試實驗室、可靠性實驗室等目前國內最好最全最先進的研發平臺情況。八室副主任陳魯介紹了微電子設備研究室在32nm以下設備及關鍵技術研究方面所取得的科研成果，并重點介紹了依托承擔的國家科技重大專項02專項所開發的8臺新原理設備及其應用情況。

　　會上，安筱鵬副司長一行就感興趣和重點關注的問題同微電子所科研人員進行了交流和探討。安筱鵬副司長講話時指出，微電子所近年來發展勢頭非常迅猛，尤其是在“十一五”國家科技重大專項的支持下，在人才引進、公共平臺建設等方面都得到了較大地改善和提升，并在此基礎上通過自身努力取得了成績，在國內微電子領域的影響力日漸提升，對此表示贊賞和祝賀。同時，他也指出微電子領域的競爭非常激烈，希望微電子所在今后的發展中能繼續緊密圍繞國家戰略需求，不斷調整和優化學科布局，積極創新和探索發展的新模式，在人才培養和科研攻關等方面取得更好、更大的成績。

　　會后，來訪一行參觀了系統封裝實驗室的基板實驗線、微組裝實驗線、測試和可靠性實驗室線以及先導工藝研發中心的8英寸CMOS工藝線和微電子設備研究室的32nm以下新原理設備平臺和中科院EDA中心。

會議現場

參觀凈化間封裝線

參觀凈化間先導工藝線

參觀凈化間32nm新原理設備平臺