1月16日，中科院計(jì)劃財(cái)務(wù)局組織專家到微電子研究所對微電子設(shè)備技術(shù)研究室（八室）承擔(dān)的院裝備項(xiàng)目“多場驅(qū)動鍵合系統(tǒng)研制”進(jìn)行了驗(yàn)收。經(jīng)檢查，該項(xiàng)目完成了任務(wù)指標(biāo)要求，經(jīng)費(fèi)使用合理，驗(yàn)收材料齊全，專家組一致同意通過驗(yàn)收。
　　多場驅(qū)動鍵合系統(tǒng)采用多場耦合驅(qū)動方式（電場、溫度場、壓力場），具有獨(dú)特的紫石英壓力分布調(diào)整結(jié)構(gòu)，可完成陽極鍵合、黏著鍵合、共晶鍵合等多種工藝。與現(xiàn)有鍵合設(shè)備的剛性壓力結(jié)構(gòu)相比,該裝置對壓頭之間非平面性、各種厚度和異質(zhì)薄膜材料的適應(yīng)性更強(qiáng)，避免鍵合過程中的材料破損，提高鍵合的均勻性和成品率。該系統(tǒng)的研制為國家發(fā)展具有自主知識產(chǎn)權(quán)的下一代IC關(guān)鍵裝備進(jìn)行了技術(shù)儲備。
　　驗(yàn)收專家組聽取了項(xiàng)目組的研制報(bào)告、使用報(bào)告、財(cái)務(wù)報(bào)告及測試專家組的現(xiàn)場測試報(bào)告并在現(xiàn)場檢查了設(shè)備運(yùn)行情況后，一致認(rèn)為該系統(tǒng)為國內(nèi)首次研制的自主知識產(chǎn)權(quán)的多場驅(qū)動鍵合系統(tǒng)，其獨(dú)特的自適應(yīng)壓力分布調(diào)整結(jié)構(gòu)具有創(chuàng)新性，并且已成功應(yīng)用于氣密性封裝、LED鍵合封裝等研究，并創(chuàng)新性地實(shí)現(xiàn)了一種全新的大尺寸高質(zhì)量石墨烯的宏量制備方法，具有重要的科學(xué)意義和實(shí)用價(jià)值。

設(shè)備圖片

報(bào)告會

專家組在現(xiàn)場檢查設(shè)備

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