10月15日至18日，第七屆中國功能材料及其應(yīng)用學(xué)術(shù)會議在長沙召開，中科院微電子所微電子設(shè)備技術(shù)研究室(八室)博士后劉邦武在大會上作了題為《黑硅制備及光伏應(yīng)用研究進(jìn)展》的報告，其論文《硫摻雜黑硅制備和表征》榮獲本屆會議優(yōu)秀論文獎。

　　黑硅是一種革命性的新型電子材料，和常規(guī)的硅材料相比它具有超強(qiáng)的吸收光線的能力。如果把這種材料應(yīng)用于傳感器上會提高上百倍感光效率，也可將太陽能電池轉(zhuǎn)換效率大大提高。因此，黑硅將對超靈敏傳感器、光伏電池等技術(shù)產(chǎn)生深遠(yuǎn)的影響，也可能會改變數(shù)字?jǐn)z影、夜視儀設(shè)備的未來。

黑硅表面掃描電子顯微鏡照片

黑硅的反射率隨波長變化曲線

　　微電子所微電子設(shè)備技術(shù)研究室博士后劉邦武在導(dǎo)師夏洋研究員的指導(dǎo)下，從2009年開始從事黑硅材料方面的研究工作。在導(dǎo)師和課題組成員的大力支持下，利用課題組自行研制的等離子體浸沒離子注入機(jī)制備了多種形貌的黑硅材料，在可見光波段黑硅的平均反射率為0.5%，與飛秒激光制備黑硅的反射率相當(dāng)。與飛秒激光相比，等離子體浸沒離子注入工藝制備黑硅，設(shè)備成本低廉，生產(chǎn)效率高，有望應(yīng)用于太陽能電池的大規(guī)模生產(chǎn)。

　　由于劉邦武的研究工作具有世界原創(chuàng)性、新穎性、重要性的特點(diǎn)，其報告受到了第七屆中國功能材料及其應(yīng)用學(xué)術(shù)會議與會專家的高度評價，經(jīng)過專家的評審和推薦，其論文被評為會議優(yōu)秀論文。