3月17日，美國德克薩斯農工大學教授Yue Kuo來微電子所訪問交流。交流活動由微電子所微電子重點實驗室主任劉明院士主持。科研人員、研究生共40余人參加了交流活動。
Yue Kuo作了題為“Research from Giga to Nano to Optoelectronics with Breakthroughs along the Path”的學術報告，指出金屬氧化物半導體場效應晶體管（MOSFET）和薄膜場效應晶體管（TFT）是目前半導體產業兩個主要的固態器件。前者遵循摩爾定律的發展，尺寸縮小至納米尺度；后者具備集成為高密度、大面積陣列的優勢。兩者具有相同的工作原理，面臨著共同的挑戰。他講解了納米電子和極大電子基于相似的物理和化學原理，介紹了所在實驗室取得的基于等離子體薄膜沉積技術、High-K電介質的MOSFET和TET研究成果。
Yue Kuo獲美國哥倫比亞大學碩士、博士學位，曾在IBM T. J. Watson研究中心和硅谷從事半導體技術研究近20年，1998年至今任美國德克薩斯州農工大學教授，創建了著名的薄膜微納電子學研究實驗室，致力于ULSI和TFT的器件、材料及工藝研究。榮獲美國電化學學會電子學和光子學獎、10項IBM技術和發明獎，發表期刊論文350多篇。
交流會現場
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